欢迎来到成都华聚科技有限公司
028- 84601124
  • 首页
  • 关于我们
  • 产品中心
  • 售后服务
  • 联系我们
  • 人才招聘
    • products
    产品中心
    Contact Us
    联系我们
    你现在的位置：网站首页 > 产品中心 > 半导体核心部件 > 单碟式真空传输系统（loadlock） > 单碟式真空传输系统（loadlock）
    单碟式真空传输系统（loadlock）
    该设备是兼容高真空环境的自动传输系统。传输室与工艺腔室通过传输阀连接，通过机械手在传输室和工艺室内传输产品，可消除在每个基片循环期间工艺室排气和排空过程，提高系统效率。